SM30F Silizium-Druckmesszelle
Der SM30F, Nachfolger des SM30D, ist ein mikrostrukturierter, piezoresistiver Drucksensorchip aus Silizium (MEMS die).
Dieses Druckmesszelle ist für Messbereiche von 0-5 bis 150 PSI erhältlich. Es sind sowohl Versionen mit offener als auch mit geschlossener Brücke erhältlich. Diese Messzelle zeichnet sich durch eine kosteneinsparende geringe Größe und ein gutes Temperaturverhalten aus und ist ideal für OEM- und Großserienanwendungen.
Die SM30F werden in Form von vereinzelten Dies geliefert und können auf Keramik, auf einer Vielzahl von Substraten oder Gehäusen als Teil eines OEM-Systems montiert werden. Sie können auch in proprietäre oder anwendungsspezifische Sensorlinien integriert werden.
Nach der Waferherstellung werden die Dies elektrisch getestet, vereinzelt, inspiziert und auf Blue-Foil gespannt versandt. Ein Wafermapping wird mit jedem Wafer geliefert.
Druckbereiche des SM30F-H-ND
SM30F-H-ND: 5 / 15 / 30 / 80 / 150 PSI
Eigenschaften
- Erhöhte Stabilität durch integrierte Feldabschirmung
- Qualifizierter Betriebstemperaturbereich: -40°C bis 150°C
- Kleine Bauform 1,34 x 1,34 mm
- Differential- oder Manometer-Konfiguration
- Verfügbar für 5, 15, 30, 80, 150 und 500 psi
- Messzellen mit offener oder geschlossenen Brücke
- Ratiometrisch mit einer Versorgungsspannung von bis zu 10 V
- Qualifiziert nach Grade 0 AEC-Q100 Automobilstandards
- Hergestellt nach den Normen ISO9001 und ISO/TS 16949
- RoHS- & REACH-konform
Anwendungen
- Patienten-Monitore
- Blutdruck-Monitore
- Sauerstoffkonzentratoren
- Flüssigkeitsabsaugung
- Beatmungsgeräte
- Industrielle Steuerungen
- Kompressoren & Pumpen
- Druckschalter
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