Auf Anfrage kann AMSYS für kundenspezifische Großserien-Anwendungen Silizium-Druckmesszellen seiner Vertragspartner in Waferform anbieten. Voraussetzung zur Verarbeitung der Siliziummesselemente sind Reinräume und Halbleiterequipment wie z. B. Bonder, Dispenser usw…
Produktübersicht
Keramische Druckmesszellen, thermisch kompensiert
Piezoresistiv mit flächenbündiger Membran für Absolut- und Relativdruck

Typ |
Druckbereich |
Größe (mm) |
Sensitivität (mV/V) |
Linearität (%FS) |
ME501-0p5 -/R/- |
0-0,5 bar |
Ø 18 x 6,15 |
1,4-2,4 |
±0,4 |
ME501-001 A/R/S |
0-1 bar |
Ø 18 x 6,17 |
2,0-3,6 |
±0,3 |
ME501-002 A/R/S |
0-2 bar |
Ø 18 x 6,23 |
2,0-3,5 |
±0,3 |
ME501-005 A/R/S |
0-5 bar |
Ø 18 x 6,30 |
2,3-4,0 |
±0,2 |
ME501-010 A/R/S |
0-10 bar |
Ø 18 x 6,35 |
3,1-5,5 |
±0,2 |
ME501-020 A/R/S |
0-20 bar |
Ø 18 x 6,55 |
2,4-4,0 |
±0,2 |
ME501-050 A/R/S |
0-50 bar |
Ø 18 x 6,70 |
4,0-6,0 |
±0,2 |
ME505-100 -/-/S |
0-100 bar |
Ø 18 x 6,70 |
3,0-4,8 |
±0,2 |
ME505-200 -/-/S |
0-200 bar |
Ø 18 x 7,05 |
2,5-3,9 |
±0,4 |
ME505-400 -/-/S |
0-400 bar |
Ø 18 x 7,32 |
3,1-4,8 |
±0,5 |
ME505-600 -/-/S |
0-600 bar |
Ø 18 x 7,55 |
3,1-4,8 |
±0,5 |
ME505-800 -/-/S |
0-800 bar |
Ø 18 x 8,05 |
2,0-3,5 |
±0,5 |
A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed

Typ |
Druckbereich |
Größe (mm) |
Sensitivität (mV/V) |
Linearität (%FS) |
ME504-0p5 -/R/- |
0-0,5 bar |
Ø 18 x 6,15 |
1,4-2,4 |
±0,4 |
ME504-001 A/R/S |
0-1 bar |
Ø 18 x 6,17 |
2,0-3,6 |
±0,3 |
ME504-002-A/R/S |
0-2 bar |
Ø 18 x 6,23 |
2,0-3,5 |
±0,3 |
ME504-005 A/R/S |
0-5 bar |
Ø 18 x 6,30 |
2,3-4,0 |
±0,2 |
ME504-010 A/R/S |
0-10 bar |
Ø 18 x 6,35 |
3,4-6,0 |
±0,2 |
ME504-020 A/R/S |
0-20 bar |
Ø 18 x 6,55 |
2,4-4,0 |
±0,2 |
ME504-050 A/R/S |
0-50 bar |
Ø 18 x 6,70 |
4,0-6,0 |
±0,2 |
ME504-100 -/-/S |
0-100 bar |
Ø 18 x 6,70 |
3,1-4,8 |
±0,2 |
ME504-200 -/-/S |
0-200 bar |
Ø 18 x 7,05 |
2,5-3,9 |
±0,4 |
ME504-400 -/-/S |
0-400 bar |
Ø 18 x 7,32 |
3,1-4,8 |
±0,5 |
ME504-600 -/-/S |
0-600 bar |
Ø 18 x 7,55 |
3,1-4,8 |
±0,5 |
ME504-800 -/-/S |
0-800 bar |
Ø 18 x 8,05 |
2,0-3,5 |
±0,5 |
A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed

Typ |
Druckbereich |
Größe (mm) |
Sensitivität (mV/V) |
Linearität (%FS) |
ME506-001 A/R/S |
0-1 bar |
Ø 15 x 6,12 |
1,8-3,6 |
±0,3 |
ME506-002 A/R/S |
0-2 bar |
Ø 15 x 6,17 |
1,9-3,5 |
±0,3 |
ME506-005 A/R/S |
0-5 bar |
Ø 15x 6,25 |
2,2-4,0 |
±0,2 |
ME506-010 A/R/S |
0-10 bar |
Ø 15 x 6,30 |
3,2-5,8 |
±0,2 |
ME506-020 A/R/S |
0-20 bar |
Ø 15 x 6,50 |
2,2-4,0 |
±0,2 |
A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed

Typ |
Druckbereich |
Größe (mm) |
Sensitivität (mV/V) |
Linearität (%FS) |
ME509-200 A/R/- |
0-200 mbar |
Ø 32,4 x 5,22 |
1,3-2,5 |
±0,02 |
ME509-500 A/R/- |
0-500 mbar |
Ø 32,4 x 5,29 |
1,3-2,5 |
±0,02 |
ME509-101 A/R/- |
0-1 bar |
Ø 32,4 x 5,37 |
1,3-2,5 |
±0,02 |
A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed

Typ |
Druckbereich |
Größe (mm) |
Sensitivität (mV/V) |
Linearität (%FS) |
ME511-0p5 -/R/- |
0-0,5 bar |
Ø 18 x 6,15 |
1,4-2,4 |
±0,4 |
ME511-001 A/R/- |
0-1 bar |
Ø 18 x 6,17 |
2,0-3,6 |
±0,3 |
ME511-002-A/R/- |
0-2 bar |
Ø 18 x 6,23 |
2,0-3,5 |
±0,3 |
ME511-005 A/R/- |
0-5 bar |
Ø 18 x 6,30 |
2,3-4,0 |
±0,2 |
ME511-010 A/R/- |
0-10 bar |
Ø 18 x 6,35 |
3,1-5,5 |
±0,2 |
ME511-020 A/R/- |
0-20 bar |
Ø 18 x 6,55 |
2,4-4,0 |
±0,2 |
ME511-050 A/R/- |
0-50 bar |
Ø 18 x 6,70 |
4,0-6,0 |
±0,2 |
ME511-100 -/-/S |
0-100 bar |
Ø 18 x 6,70 |
3,0-4,8 |
±0,2 |
ME511-200 -/-/S |
0-200 bar |
Ø 18 x 7,05 |
2,5-3,9 |
±0,4 |
ME511-400 -/-/S |
0-400 bar |
Ø 18 x 7,32 |
3,1-4,8 |
±0,5 |
ME511-600 -/-/S |
0-600 bar |
Ø 18 x 7,55 |
3,1-4,8 |
±0,5 |
ME511-800 -/-/S |
0-800 bar |
Ø 18 x 8,05 |
2,0-3,5 |
±0,5 |
A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed
Piezoresistiv, monolithisch für Relativdruck:

Typ |
Druckbereich |
Größe (mm) |
Sensitivität (mV/V) |
Linearität (%FS) |
ME600-002 |
0-2 bar |
Ø 18 x 6,35 |
1,8-3,4 |
±0,15 |
ME600-005 |
0-5 bar |
Ø 18 x 6,35 |
2,0-3,5 |
±0,15 |
ME600-010 |
0-10 bar |
Ø 18 x 6,35 |
2,4-4,0 |
±0,15 |
ME600-020 |
0-20 bar |
Ø 18 x 6,35 |
2,8-4,2 |
±0,15 |
ME600-050 |
0-50 bar |
Ø 18 x 6,35 |
2,7-4,0 |
±0,25 |
ME600-100 |
0-100 bar |
Ø 18 x 6,35 |
2,0-3,2 |
±0,50 |
ME600-200 |
0-200 bar |
Ø 18 x 6,35 |
1,8-3,3 |
±0,50 |
ME600-250 |
0-250 bar |
Ø 18 x 6,35 |
1,5-3,0 |
±0,50 |
ME600-400 |
0-400 bar |
Ø 18 x 6,35 |
1,5-3,0 |
±0,60 |
ME600-600 |
0-600 bar |
Ø 18 x 6,35 |
1,5-2,5 |
±0,60 |

Typ |
Druckbereich |
Größe (mm) |
Sensitivität (mV/V) |
Linearität (%FS) |
ME657-350 |
0-350 bar |
Ø 12,85 x 5,0 |
1,5-3,5 |
±0,60 |

Typ |
Druckbereich |
Größe (mm) |
Sensitivität (mV/V) |
Linearität (%FS) |
ME670-002 |
0-2 bar |
Ø 18 x 6,35 |
1,8-3,4 |
±0,15 |
ME670-005 |
0-5 bar |
Ø 18 x 6,35 |
2,0-3,5 |
±0,15 |
ME670-010 |
0-10 bar |
Ø 18 x 6,35 |
2,4-4,0 |
±0,15 |
ME670-020 |
0-20 bar |
Ø 18 x 6,35 |
2,8-4,2 |
±0,15 |
ME670-050 |
0-50 bar |
Ø 18 x 6,35 |
2,7-4,0 |
±0,25 |
ME670-100 |
0-100 bar |
Ø 18 x 6,35 |
2,0-3,2 |
±0,50 |
ME670-200 |
0-200 bar |
Ø 18 x 6,35 |
1,8-3,3 |
±0,50 |
ME670-250 |
0-250 bar |
Ø 18 x 6,35 |
1,5-3,0 |
±0,50 |
ME670-400 |
0-400 bar |
Ø 18 x 6,35 |
1,5-3,0 |
±0,60 |

A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed
Piezoresistive Differenzdruckmesszelle

Typ |
Druckbereich |
Größe (mm) |
Sensitivität (mV/V) |
Linearität (%FS) |
ME800-004 |
4bar |
17 x 4,35 |
2,0-4,0 |
±0,4 |
ME800-010 |
10bar |
17 x 4,48 |
2,0-4,0 |
±0,4 |
ME800-016 |
16bar |
17 x 4,60 |
2,0-4,0 |
±0,4 |
ME800-025 |
25bar |
17 x 4,73 |
2,0-4,0 |
±0,4 |
ME800-040 |
40bar |
17 x 4,90 |
2,0-4,0 |
±0,4 |
Kapazitiv mit flächenbündiger Membran für Absolut- und Relativdruck

Typ |
Druckbereich |
Größe (mm) |
Sensitivität (mV/V) |
Linearität (%FS) |
ME550-0600 -/R |
0-0,06 bar |
Ø 32,4 x 5,23 |
0,15-0,45 |
±0,2 |
ME550-1600 -/R |
0-0,16 bar |
Ø 32,4 x 5,28 |
0,15-0,45 |
±0,2 |
ME550-4000 -/R |
0-0,40 bar |
Ø 32,4 x 5,41 |
0,15-0,45 |
±0,2 |
ME550-1001 A/R |
0-1 bar |
Ø 32,4 x 5,51 |
0,15-0,45 |
±0,2 |
ME550-2001 A/R |
0-2 bar |
Ø 32,4 x 5,63 |
0,15-0,45 |
±0,2 |
ME550-5001 A/R |
0-5 bar |
Ø 32,4 x 5,85 |
0,15-0,45 |
±0,2 |
ME550-1002 A/R |
0-10 bar |
Ø 32,4 x 5,90 |
0,15-0,45 |
±0,2 |
ME550-2002 A/R |
0-20 bar |
Ø 32,4 x 6,34 |
0,15-0,45 |
±0,2 |
A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed
Voraussetzung zur Verarbeitung der Siliziummesselemente sind Reinräume und Halbleiterequipment wie z. B. Bonder, Dispenser usw.
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