Auf Anfrage kann AMSYS für kundenspezifische Großserien-Anwendungen Silizium-Druckmesszellen seiner Vertragspartner in Waferform anbieten. Voraussetzung zur Verarbeitung der Siliziummesselemente sind Reinräume und Halbleiterequipment wie z. B. Bonder, Dispenser usw…

Produktübersicht

Piezoresistive Silizium Drucksensoren (MEMS)

Silizium-Druckmesszellen für Differenz- und Relativdruck


Nachfolger von SM30D

TypMessbereichGröße (mm)Span@5V (mV)Linearität (%FS)
SM30F-H-ND-005S-0000A5 PSI1,34 x 1,3490±0,10
SM30F-H-ND-005S-0000B5 PSI1,34 x 1,3490±0,10
SM30F-H-ND-015S-0000A15 PSI1,34 x 1,3490±0,10
SM30F-H-ND-015S-0000B15 PSI1,34 x 1,3490±0,10
SM30F-H-ND-030S-0000A30 PSI1,34 x 1,3480±0,10
SM30F-H-ND-030S-0000B30 PSI1,34 x 1,3480±0,10
SM30F-H-ND-080S-0000A80 PSI1,34 x 1,3490±0,10
SM30F-H-ND-080S-0000B80 PSI1,34 x 1,3490±0,10
SM30F-H-ND-150S-0000A150 PSI1,34 x 1,3480±0,10
SM30F-H-ND-150S-0000B150 PSI1,34 x 1,3480±0,10

TypDruckbereichGröße (mm)Sensitivität (mV/V)Linearität (%FS)
SM30G-H-ND-005S-0010A5 PSI1,35 x 1,3590±0,10
SM30G-H-ND-015S-0010A15 PSI1,35 x 1,3590±0,10
SM30G-H-ND-030S-0010A30 PSI1,35 x 1,3580±0,10

TypDruckbereichGröße (mm)Sensitivität (mV/V)Linearität (%FS)
SM9520A-010M-G-D0,15 PSI2,06 x 2,0645±0,10
SM9520A-040M-G-D0,60 PSI2,06 x 2,0690±0,10
SM9520A-100M-G-D1,50 PSI2,06 x 2,0695±0,10

Silizium-Druckmesszellen für Absolutdruck

TypDruckbereichGröße (mm)Sensitivität (mV/V)Linearität (%FS)
SM5108E-030-A30 PSI0,69 x 0,69 x 0,40100±0,12
SM5108E-060-A60 PSI0,69 x 0,69 x 0,40100±0,12
SM5108E-100-A100 PSI0,69 x 0,69 x 0,40100±0,12

TypDruckbereichGröße (mm)Sensitivität (mV/V)Linearität (%FS)
SM97A-H-ND-010B-0000A10 bar/145 PSIA1,20 x 1,3390±0,08
SM97A-H-ND-020B-0000A20 bar/290 PSIA1,20 x 1,3390±0,08
SM97A-H-NV-010B-0001A10 bar/145 PSIA1,20 x 1,3390±0,08
SM97A-H-NV-020B-0001A20 bar/290 PSIA1,20 x 1,3390±0,08

TypMessbereichGröße (mm)Span@5V (mV)Linearität (%FS)
MS7212-A20-12 bar1,73 x 1,18150±0,5
MS7218-A20-18 bar1,73 x 1,18150±0,5

Silizium-Druckmesszellen für Differenz- und Absolutdruck

TypDruckbereichGröße (mm)Sensitivität (mV/V)Linearität (%FS)
MS7801-A/D0-1 bar1,98 x 1,84150±0,5
MS7812-A/D0-12 bar2,00 x 1,86150±0,5

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Keramische Druckmesszellen, thermisch kompensiert

Piezoresistiv mit flächenbündiger Membran für Absolut- und Relativdruck

Druckmesszelle ME501 / ME505

TypDruckbereichGröße (mm)Sensitivität (mV/V)Linearität (%FS)
ME501-0p5 -/R/-0-0,5 barØ 18 x 6,151,4-2,4±0,4
ME501-001 A/R/S0-1 barØ 18 x 6,172,0-3,6±0,3
ME501-002 A/R/S0-2 barØ 18 x 6,232,0-3,5±0,3
ME501-005 A/R/S0-5 barØ 18 x 6,302,3-4,0±0,2
ME501-010 A/R/S0-10 barØ 18 x 6,353,1-5,5±0,2
ME501-020 A/R/S0-20 barØ 18 x 6,552,4-4,0±0,2
ME501-050 A/R/S0-50 barØ 18 x 6,704,0-6,0±0,2
ME505-100 -/-/S0-100 barØ 18 x 6,703,0-4,8±0,2
ME505-200 -/-/S0-200 barØ 18 x 7,052,5-3,9±0,4
ME505-400 -/-/S0-400 barØ 18 x 7,323,1-4,8±0,5
ME505-600 -/-/S0-600 barØ 18 x 7,553,1-4,8±0,5
ME505-800 -/-/S0-800 barØ 18 x 8,052,0-3,5±0,5

A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed

Druckmesszelle ME504

TypDruckbereichGröße (mm)Sensitivität (mV/V)Linearität (%FS)
ME504-0p5 -/R/-0-0,5 barØ 18 x 6,151,4-2,4±0,4
ME504-001 A/R/S0-1 barØ 18 x 6,172,0-3,6±0,3
ME504-002-A/R/S0-2 barØ 18 x 6,232,0-3,5±0,3
ME504-005 A/R/S0-5 barØ 18 x 6,302,3-4,0±0,2
ME504-010 A/R/S0-10 barØ 18 x 6,353,4-6,0±0,2
ME504-020 A/R/S0-20 barØ 18 x 6,552,4-4,0±0,2
ME504-050 A/R/S0-50 barØ 18 x 6,704,0-6,0±0,2
ME504-100 -/-/S0-100 barØ 18 x 6,703,1-4,8±0,2
ME504-200 -/-/S0-200 barØ 18 x 7,052,5-3,9±0,4
ME504-400 -/-/S0-400 barØ 18 x 7,323,1-4,8±0,5
ME504-600 -/-/S0-600 barØ 18 x 7,553,1-4,8±0,5
ME504-800 -/-/S0-800 barØ 18 x 8,052,0-3,5±0,5

A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed

Druckmesszelle ME506

TypDruckbereichGröße (mm)Sensitivität (mV/V)Linearität (%FS)
ME506-001 A/R/S0-1 barØ 15 x 6,121,8-3,6±0,3
ME506-002 A/R/S0-2 barØ 15 x 6,171,9-3,5±0,3
ME506-005 A/R/S0-5 barØ 15x 6,252,2-4,0±0,2
ME506-010 A/R/S0-10 barØ 15 x 6,303,2-5,8±0,2
ME506-020 A/R/S0-20 barØ 15 x 6,502,2-4,0±0,2

A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed

Druckmesszelle ME509

TypDruckbereichGröße (mm)Sensitivität (mV/V)Linearität (%FS)
ME509-200 A/R/-0-200 mbarØ 32,4 x 5,221,3-2,5±0,02
ME509-500 A/R/-0-500 mbarØ 32,4 x 5,291,3-2,5±0,02
ME509-101 A/R/-0-1 barØ 32,4 x 5,371,3-2,5±0,02

A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed

Druckmesszelle ME511

TypDruckbereichGröße (mm)Sensitivität (mV/V)Linearität (%FS)
ME511-0p5 -/R/-0-0,5 barØ 18 x 6,151,4-2,4±0,4
ME511-001 A/R/-0-1 barØ 18 x 6,172,0-3,6±0,3
ME511-002-A/R/-0-2 barØ 18 x 6,232,0-3,5±0,3
ME511-005 A/R/-0-5 barØ 18 x 6,302,3-4,0±0,2
ME511-010 A/R/-0-10 barØ 18 x 6,353,1-5,5±0,2
ME511-020 A/R/-0-20 barØ 18 x 6,552,4-4,0±0,2
ME511-050 A/R/-0-50 barØ 18 x 6,704,0-6,0±0,2
ME511-100 -/-/S0-100 barØ 18 x 6,703,0-4,8±0,2
ME511-200 -/-/S0-200 barØ 18 x 7,052,5-3,9±0,4
ME511-400 -/-/S0-400 barØ 18 x 7,323,1-4,8±0,5
ME511-600 -/-/S0-600 barØ 18 x 7,553,1-4,8±0,5
ME511-800 -/-/S0-800 barØ 18 x 8,052,0-3,5±0,5

A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed

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Piezoresistiv, monolithisch für Relativdruck:

Druckmesszelle ME600

TypDruckbereichGröße (mm)Sensitivität (mV/V)Linearität (%FS)
ME600-0020-2 barØ 18 x 6,351,8-3,4±0,15
ME600-0050-5 barØ 18 x 6,352,0-3,5±0,15
ME600-0100-10 barØ 18 x 6,352,4-4,0±0,15
ME600-0200-20 barØ 18 x 6,352,8-4,2±0,15
ME600-0500-50 barØ 18 x 6,352,7-4,0±0,25
ME600-1000-100 barØ 18 x 6,352,0-3,2±0,50
ME600-2000-200 barØ 18 x 6,351,8-3,3±0,50
ME600-2500-250 barØ 18 x 6,351,5-3,0±0,50
ME600-4000-400 barØ 18 x 6,351,5-3,0±0,60
ME600-6000-600 barØ 18 x 6,351,5-2,5±0,60

Druckmesszelle ME657

TypDruckbereichGröße (mm)Sensitivität (mV/V)Linearität (%FS)
ME657-3500-350 barØ 12,85 x 5,01,5-3,5±0,60

Druckmesszelle ME670

TypDruckbereichGröße (mm)Sensitivität (mV/V)Linearität (%FS)
ME670-0020-2 barØ 18 x 6,351,8-3,4±0,15
ME670-0050-5 barØ 18 x 6,352,0-3,5±0,15
ME670-0100-10 barØ 18 x 6,352,4-4,0±0,15
ME670-0200-20 barØ 18 x 6,352,8-4,2±0,15
ME670-0500-50 barØ 18 x 6,352,7-4,0±0,25
ME670-1000-100 barØ 18 x 6,352,0-3,2±0,50
ME670-2000-200 barØ 18 x 6,351,8-3,3±0,50
ME670-2500-250 barØ 18 x 6,351,5-3,0±0,50
ME670-4000-400 barØ 18 x 6,351,5-3,0±0,60

TypDruckbereichGröße (mm)Sensitivität (mV/V)Linearität (%FS)
ME910-010 -/R/-0-10 barØ 9 x 41,0-1,80.40/0.80
ME910-020 -/R/-0-20 barØ 9 x 42,0-3,50.25/0.50
ME910-050 -/R/-0-50 barØ 9 x 42,7-4,70.25/0.50
ME910-100 -/R/-0-100 barØ 9 x 43,0-5,00.25/0.50

A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed

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Piezoresistive Differenzdruckmesszelle

TypDruckbereichGröße (mm)Sensitivität (mV/V)Linearität (%FS)
ME800-0044bar17 x 4,352,0-4,0±0,4
ME800-01010bar17 x 4,482,0-4,0±0,4
ME800-01616bar17 x 4,602,0-4,0±0,4
ME800-02525bar17 x 4,732,0-4,0±0,4
ME800-04040bar17 x 4,902,0-4,0±0,4

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Kapazitiv mit flächenbündiger Membran für Absolut- und Relativdruck

Druckmesszelle ME550

TypDruckbereichGröße (mm)Sensitivität (mV/V)Linearität (%FS)
ME550-0600 -/R0-0,06 barØ 32,4 x 5,230,15-0,45±0,2
ME550-1600 -/R0-0,16 barØ 32,4 x 5,280,15-0,45±0,2
ME550-4000 -/R0-0,40 barØ 32,4 x 5,410,15-0,45±0,2
ME550-1001 A/R0-1 barØ 32,4 x 5,510,15-0,45±0,2
ME550-2001 A/R0-2 barØ 32,4 x 5,630,15-0,45±0,2
ME550-5001 A/R0-5 barØ 32,4 x 5,850,15-0,45±0,2
ME550-1002 A/R0-10 barØ 32,4 x 5,900,15-0,45±0,2
ME550-2002 A/R0-20 barØ 32,4 x 6,340,15-0,45±0,2

A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed

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Voraussetzung zur Verarbeitung der Siliziummesselemente sind Reinräume und Halbleiterequipment wie z. B. Bonder, Dispenser usw.

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