SM9520A Niederdruck-Messzelle für Differenzdruckmessungen
Der SM9520A ist ein mikrostrukturierter, piezoresistiver Drucksensorchip aus Silizium (MEMS die) für relative und differenzielle Drücke.
Diese Messzelle ist für Messbereiche von 0-1,0 bis 10 kPa (0,15 bis 1,50 psi) erhältlich und eignet sich ideal für OEM- und Großserienanwendungen.
Die ungehäusten Messzellen werden in Form von Dies auf einem Waferrahmen geliefert und können auf Keramik- oder PCB-Substraten als Teil eines OEM-Systems montiert werden. Sie können auch in anwendungsspezifische Sensorlinien integriert werden. Für den Verbau solcher Druckmesszellen müssen Reinraum und Kalibrierungswissen zur Verfügung stehen.
Die Dies werden elektrisch getestet, vereinzelt, geprüft und als 200 mm-Wafer, gesägt auf BlueFoil ausgeliefert.
Druckbereiche des SM9520-A
SM9520-G: 0,15 / 0,60 / 1,50 PSI (G:gage, steht hier für Relativdruck oder auch Differenzdruck im Gegensatz zu Absolutdruck)
Eigenschaften
- Hohe Stückzahlen, kosteneffektiv
- Konstantstrom- oder Konstantspannungsantrieb
- Millivolt-Ausgang
- Temperaturbereich: -40°C bis 125°C
- Bauform 2,01 x 2,01 mm
- Verfügbar in 0,15, 0,60 & 1,50 psiG
- Ratiometrisch mit einer Versorgungsspannung von bis zu 6,5 V
- Hergestellt nach den Normen ISO9001 und ISO/TS 16949
- RoHS- & REACH-konform
Anwendungen
- Patientenmonitore
- Blutdruck-Monitore
- Sauerstoffkonzentratoren
- Flüssigkeitsabsaugung
- Beatmungsgeräte
- Industrielle Steuerungen
- Kompressoren und Pumpen
- Druckschalter
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