Auf Anfrage kann AMSYS für kundenspezifische Großserien-Anwendungen Silizium-Druckmesszellen seiner Vertragspartner in Waferform anbieten. Voraussetzung zur Verarbeitung der Siliziummesselemente sind Reinräume und Halbleiterequipment wie z. B. Bonder, Dispenser usw…

Produktübersicht

Piezoresistive Silizium Drucksensoren (MEMS)

Silizium-Druckmesszellen für Differenz- und Relativdruck


Nachfolger von SM30D

Typ Messbereich Größe (mm) Span@5V (mV) Linearität (%FS)
SM30F-H-ND-005S-0000A 5 PSI 1,34 x 1,34 90 ±0,10
SM30F-H-ND-005S-0000B 5 PSI 1,34 x 1,34 90 ±0,10
SM30F-H-ND-015S-0000A 15 PSI 1,34 x 1,34 90 ±0,10
SM30F-H-ND-015S-0000B 15 PSI 1,34 x 1,34 90 ±0,10
SM30F-H-ND-030S-0000A 30 PSI 1,34 x 1,34 80 ±0,10
SM30F-H-ND-030S-0000B 30 PSI 1,34 x 1,34 80 ±0,10
SM30F-H-ND-080S-0000A 80 PSI 1,34 x 1,34 90 ±0,10
SM30F-H-ND-080S-0000B 80 PSI 1,34 x 1,34 90 ±0,10
SM30F-H-ND-150S-0000A 150 PSI 1,34 x 1,34 80 ±0,10
SM30F-H-ND-150S-0000B 150 PSI 1,34 x 1,34 80 ±0,10

Typ Druckbereich Größe (mm) Span@5V (mV) Linearität (%FS)
SM30G-H-ND-005S-0010A 5 PSI 1,35 x 1,35 90 ±0,10
SM30G-H-ND-015S-0010A 15 PSI 1,35 x 1,35 90 ±0,10
SM30G-H-ND-030S-0010A 30 PSI 1,35 x 1,35 80 ±0,10

Typ Druckbereich Größe (mm) Span@5V (mV) Linearität (%FS)
SM9520A-010M-G-D 0,15 PSI 2,06 x 2,06 45 ±0,10
SM9520A-040M-G-D 0,60 PSI 2,06 x 2,06 90 ±0,10
SM9520A-100M-G-D 1,50 PSI 2,06 x 2,06 95 ±0,10

Silizium-Druckmesszellen für Absolutdruck

Typ Druckbereich Größe (mm) Span@5V (mV) Linearität (%FS)
SM5108E-030-A 30 PSI 0,69 x 0,69 x 0,40 100 ±0,12
SM5108E-060-A 60 PSI 0,69 x 0,69 x 0,40 100 ±0,12
SM5108E-100-A 100 PSI 0,69 x 0,69 x 0,40 100 ±0,12

Typ Druckbereich Größe (mm) Span@5V (mV) Linearität (%FS)
SM97A-H-ND-010B-0000A 10 bar/145 PSIA 1,20 x 1,33 90 ±0,08
SM97A-H-ND-020B-0000A 20 bar/290 PSIA 1,20 x 1,33 90 ±0,08
SM97A-H-ND-050B-0000A 50 bar/725 PSIA 1,20 x 1,33 105 ±0,08
SM97A-H-NV-010B-0001A 10 bar/145 PSIA 1,20 x 1,33 90 ±0,08
SM97A-H-NV-020B-0001A 20 bar/290 PSIA 1,20 x 1,33 90 ±0,08
SM97A-H-NV-050B-0001A 50 bar/725 PSIA 1,20 x 1,33 105 ±0,08

Typ Messbereich Größe (mm) Span@5V (mV) Linearität (%FS)
MS7212-A2 (nicht für neue Designs) 0-12 bar 1,73 x 1,18 150 ±0,5
MS7218-A2 (nicht für neue Designs) 0-18 bar 1,73 x 1,18 150 ±0,5

Silizium-Druckmesszellen für Differenz- und Absolutdruck

Typ Druckbereich Größe (mm) Span@5V (mV) Linearität (%FS)
MS7801-A/D (nicht für neue Designs) 0-1 bar 1,98 x 1,84 150 ±0,5
MS7812-A/D (nicht für neue Designs) 0-12 bar 2,00 x 1,86 150 ±0,5

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Keramische Druckmesszellen, thermisch kompensiert

Piezoresistiv mit flächenbündiger Membran für Absolut- und Relativdruck

Druckmesszelle ME501 / ME505

Typ Druckbereich Größe (mm) Sensitivität (mV/V) Linearität (%FS)
ME501-0p5 -/R/- 0-0,5 bar Ø 18 x 6,15 1,4-2,4 ±0,4
ME501-001 A/R/S 0-1 bar Ø 18 x 6,17 2,0-3,6 ±0,3
ME501-002 A/R/S 0-2 bar Ø 18 x 6,23 2,0-3,5 ±0,3
ME501-005 A/R/S 0-5 bar Ø 18 x 6,30 2,3-4,0 ±0,2
ME501-010 A/R/S 0-10 bar Ø 18 x 6,35 3,1-5,5 ±0,2
ME501-020 A/R/S 0-20 bar Ø 18 x 6,55 2,4-4,0 ±0,2
ME501-050 A/R/S 0-50 bar Ø 18 x 6,70 4,0-6,0 ±0,2
ME505-100 -/-/S 0-100 bar Ø 18 x 6,70 3,0-4,8 ±0,2
ME505-200 -/-/S 0-200 bar Ø 18 x 7,05 2,5-3,9 ±0,4
ME505-400 -/-/S 0-400 bar Ø 18 x 7,32 3,1-4,8 ±0,5
ME505-600 -/-/S 0-600 bar Ø 18 x 7,55 3,1-4,8 ±0,5
ME505-800 -/-/S 0-800 bar Ø 18 x 8,05 2,0-3,5 ±0,5

A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed

Druckmesszelle ME504

Typ Druckbereich Größe (mm) Sensitivität (mV/V) Linearität (%FS)
ME504-0p5 -/R/- 0-0,5 bar Ø 18 x 6,15 1,4-2,4 ±0,4
ME504-001 A/R/S 0-1 bar Ø 18 x 6,17 2,0-3,6 ±0,3
ME504-002-A/R/S 0-2 bar Ø 18 x 6,23 2,0-3,5 ±0,3
ME504-005 A/R/S 0-5 bar Ø 18 x 6,30 2,3-4,0 ±0,2
ME504-010 A/R/S 0-10 bar Ø 18 x 6,35 3,4-6,0 ±0,2
ME504-020 A/R/S 0-20 bar Ø 18 x 6,55 2,4-4,0 ±0,2
ME504-050 A/R/S 0-50 bar Ø 18 x 6,70 4,0-6,0 ±0,2
ME504-100 -/-/S 0-100 bar Ø 18 x 6,70 3,1-4,8 ±0,2
ME504-200 -/-/S 0-200 bar Ø 18 x 7,05 2,5-3,9 ±0,4
ME504-400 -/-/S 0-400 bar Ø 18 x 7,32 3,1-4,8 ±0,5
ME504-600 -/-/S 0-600 bar Ø 18 x 7,55 3,1-4,8 ±0,5
ME504-800 -/-/S 0-800 bar Ø 18 x 8,05 2,0-3,5 ±0,5

A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed

Druckmesszelle ME506

Typ Druckbereich Größe (mm) Sensitivität (mV/V) Linearität (%FS)
ME506-001 A/R/S 0-1 bar Ø 15 x 6,12 1,8-3,6 ±0,3
ME506-002 A/R/S 0-2 bar Ø 15 x 6,17 1,9-3,5 ±0,3
ME506-005 A/R/S 0-5 bar Ø 15x 6,25 2,2-4,0 ±0,2
ME506-010 A/R/S 0-10 bar Ø 15 x 6,30 3,2-5,8 ±0,2
ME506-020 A/R/S 0-20 bar Ø 15 x 6,50 2,2-4,0 ±0,2

A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed

Druckmesszelle ME509

Typ Druckbereich Größe (mm) Sensitivität (mV/V) Linearität (%FS)
ME509-200 A/R/- 0-200 mbar Ø 32,4 x 5,22 1,3-2,5 ±0,02
ME509-500 A/R/- 0-500 mbar Ø 32,4 x 5,29 1,3-2,5 ±0,02
ME509-101 A/R/- 0-1 bar Ø 32,4 x 5,37 1,3-2,5 ±0,02

A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed

Druckmesszelle ME511

Typ Druckbereich Größe (mm) Sensitivität (mV/V) Linearität (%FS)
ME511-0p5 -/R/- 0-0,5 bar Ø 18 x 6,15 1,4-2,4 ±0,4
ME511-001 A/R/- 0-1 bar Ø 18 x 6,17 2,0-3,6 ±0,3
ME511-002-A/R/- 0-2 bar Ø 18 x 6,23 2,0-3,5 ±0,3
ME511-005 A/R/- 0-5 bar Ø 18 x 6,30 2,3-4,0 ±0,2
ME511-010 A/R/- 0-10 bar Ø 18 x 6,35 3,1-5,5 ±0,2
ME511-020 A/R/- 0-20 bar Ø 18 x 6,55 2,4-4,0 ±0,2
ME511-050 A/R/- 0-50 bar Ø 18 x 6,70 4,0-6,0 ±0,2
ME511-100 -/-/S 0-100 bar Ø 18 x 6,70 3,0-4,8 ±0,2
ME511-200 -/-/S 0-200 bar Ø 18 x 7,05 2,5-3,9 ±0,4
ME511-400 -/-/S 0-400 bar Ø 18 x 7,32 3,1-4,8 ±0,5
ME511-600 -/-/S 0-600 bar Ø 18 x 7,55 3,1-4,8 ±0,5
ME511-800 -/-/S 0-800 bar Ø 18 x 8,05 2,0-3,5 ±0,5

A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed

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Piezoresistiv, monolithisch für Relativdruck

Druckmesszelle ME600

Typ Druckbereich Größe (mm) Sensitivität (mV/V) Linearität (%FS)
ME600-002 0-2 bar Ø 18 x 6,35 1,8-3,4 ±0,15
ME600-005 0-5 bar Ø 18 x 6,35 2,0-3,5 ±0,15
ME600-010 0-10 bar Ø 18 x 6,35 2,4-4,0 ±0,15
ME600-020 0-20 bar Ø 18 x 6,35 2,8-4,2 ±0,15
ME600-050 0-50 bar Ø 18 x 6,35 2,7-4,0 ±0,25
ME600-100 0-100 bar Ø 18 x 6,35 2,0-3,2 ±0,50
ME600-200 0-200 bar Ø 18 x 6,35 1,8-3,3 ±0,50
ME600-250 0-250 bar Ø 18 x 6,35 1,5-3,0 ±0,50
ME600-400 0-400 bar Ø 18 x 6,35 1,5-3,0 ±0,60
ME600-600 0-600 bar Ø 18 x 6,35 1,5-2,5 ±0,60

Druckmesszelle ME657

Typ Druckbereich Größe (mm) Sensitivität (mV/V) Linearität (%FS)
ME657-350 0-350 bar Ø 12,85 x 5,0 1,5-3,5 ±0,60

Druckmesszelle ME670

Typ Druckbereich Größe (mm) Sensitivität (mV/V) Linearität (%FS)
ME670-002 0-2 bar Ø 18 x 6,35 1,8-3,4 ±0,15
ME670-005 0-5 bar Ø 18 x 6,35 2,0-3,5 ±0,15
ME670-010 0-10 bar Ø 18 x 6,35 2,4-4,0 ±0,15
ME670-020 0-20 bar Ø 18 x 6,35 2,8-4,2 ±0,15
ME670-050 0-50 bar Ø 18 x 6,35 2,7-4,0 ±0,25
ME670-100 0-100 bar Ø 18 x 6,35 2,0-3,2 ±0,50
ME670-200 0-200 bar Ø 18 x 6,35 1,8-3,3 ±0,50
ME670-250 0-250 bar Ø 18 x 6,35 1,5-3,0 ±0,50
ME670-400 0-400 bar Ø 18 x 6,35 1,5-3,0 ±0,60

Typ Druckbereich Größe (mm) Sensitivität (mV/V) Linearität (%FS)
ME910-010 -/R/- 0-10 bar Ø 9 x 4 1,0-1,8 0.40/0.80
ME910-020 -/R/- 0-20 bar Ø 9 x 4 2,0-3,5 0.25/0.50
ME910-050 -/R/- 0-50 bar Ø 9 x 4 2,7-4,7 0.25/0.50
ME910-100 -/R/- 0-100 bar Ø 9 x 4 3,0-5,0 0.25/0.50

A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed

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Piezoresistive Differenzdruckmesszelle

Typ Druckbereich Größe (mm) Sensitivität (mV/V) Linearität (%FS)
ME800-004 4bar 17 x 4,35 2,0-4,0 ±0,4
ME800-010 10bar 17 x 4,48 2,0-4,0 ±0,4
ME800-016 16bar 17 x 4,60 2,0-4,0 ±0,4
ME800-025 25bar 17 x 4,73 2,0-4,0 ±0,4
ME800-040 40bar 17 x 4,90 2,0-4,0 ±0,4

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Kapazitiv mit flächenbündiger Membran für Absolut- und Relativdruck

Druckmesszelle ME550

Typ Druckbereich Größe (mm) Sensitivität (mV/V) Linearität (%FS)
ME550-0600 -/R 0-0,06 bar Ø 32,4 x 5,23 0,15-0,45 ±0,2
ME550-1600 -/R 0-0,16 bar Ø 32,4 x 5,28 0,15-0,45 ±0,2
ME550-4000 -/R 0-0,40 bar Ø 32,4 x 5,41 0,15-0,45 ±0,2
ME550-1001 A/R 0-1 bar Ø 32,4 x 5,51 0,15-0,45 ±0,2
ME550-2001 A/R 0-2 bar Ø 32,4 x 5,63 0,15-0,45 ±0,2
ME550-5001 A/R 0-5 bar Ø 32,4 x 5,85 0,15-0,45 ±0,2
ME550-1002 A/R 0-10 bar Ø 32,4 x 5,90 0,15-0,45 ±0,2
ME550-2002 A/R 0-20 bar Ø 32,4 x 6,34 0,15-0,45 ±0,2

A/R/S sind Druckoptionen und stehen für: Absolut, Relative oder Sealed

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Voraussetzung zur Verarbeitung der Siliziummesselemente sind Reinräume und Halbleiterequipment wie z. B. Bonder, Dispenser usw.

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