SM97A – Rückseitenbeaufschlagter Absolutdruck-Die für raue Medien
SM97A – Rückseitenbeaufschlagte Absolutdruckmesszelle Der SM97A ist ein mikrostrukturierter, piezoresistiver Drucksensor-Chip aus Silizium. Er ersetzt den SM98A und bietet eine bessere Empfindlichkeit und eine sehr geringe Langzeitdrift. Der SM97A wurde für raue Umgebungsbedingungen entwickelt, in denen der absolute Druck genau gemessen werden muss. Im Gegensatz zu herkömmlichen Drucksensorchips kommt das Medium nur [...]