Ultra-Niedrigdrucksensoren ab 0 .. 25 Pa
Mit der LDE / LME / LMI Baureihe hat AMSYS nun auch Niedrigstdruck-sensoren ab einem Druckbereich von nur 25 Pa im Angebot, die auf der patentierten Micro-Flow Technologie von First Sensor basieren. Dabei wurde die thermischen Massendurchflussmessung miniaturisiert in ein nur 2 x 2 mm² großen Siliziumchip durch Mikrostrukturierung integriert. Ihre hohe Sensitivität bei [...]
